恒程創新代理深圳泰德半導體裝備有限公司登記“在線式射頻等離子清洗控制軟件”的軟件著作權，并成功取得計算機軟件著作權登記證書。證書號：軟著登字第8237322號，登記號：2021SR1514696。

“在線式射頻等離子清洗控制軟件”是面向In-line Plasma清洗領域，實現人機互動，實現設備運行、功能要求。主要功能：1. 數據交互。2. 人機互動。3. 數據監控。技術特點：1.利用計算機算法，實現運動控制、射頻控制、IO控制。2.通過計算機的通訊協議，控制相應的PLC和射頻。3.利用計算機算法，對可編程控制器（PLC）進行數據實時交互。

“在線式射頻等離子清洗控制軟件”的成功登記，為該軟件取得權屬證明，讓自身權益得到了有效的保障，在維權時也能及時拿出權屬證明，有效的維護自身合法權益。